在催化燃烧设备中，废气首先的收集和预处理。气体进入活性炭吸附装置后，在活性炭床中停留的时间后，气体中的VOS吸附在活性炭的表面，洁净气体从活性炭床排出后可直接通过引风机排出。ROC处理后的洁净气体换热到的温度，用作解吸空气。
活性炭吸附装置解吸出来的浓缩物进入RCO装置，经贵金属催化剂燃烧分解。分解温度200—600℃，废气分解为二氧化碳和水，进入烟囱后达标排放。
催化燃烧设备在生器预热后，打开阀门，将空气送入炉内与烟气接触，然后加入催化剂，在400-600℃的温度下加热煅烧。催化燃烧单元在蓄热过程中是成对的，因此两个蓄热室可以交互使用，可以大幅度回收预热，节约大量的热源。与其他废气处理装置相比，催化燃烧设备有着显著的经济效益和环境效益.
催化燃烧设备属于是一种高压设备，这类设备都要注意放电接地的情况，在整个维护阶段要注意防护措施。在使用催化燃烧设备之前，废气经过预处理，出去混合的粉尘和颗粒物，然后将废气引入炉膛。
然后进入装置浓缩阶段，将空气与废气分离，废气部分进入下一道工序，空气部分进入排放口排放；废气储存在蓄热系统中，使废气达到点火温度后进入催化室，在催化剂的作用下进行燃烧。
